両面研磨品在庫あり！〔10x10x0.5t mm（C-面、A-面、M-面）, 15x15x0.5t mm（C-面）〕
材質 ： 高純度単結晶 ZnO
成長法 ： 水熱合成法（ZnO）
10x10mmの場合、次表の通り。
単位：mm
| A | B | T | Cx45° | Px45° |
| 10 | 10 | 0.5 | 2.8-0.8 | 1.5-0.8 |
②２インチ基板
c面（0001)±0.25°: Zn(0001), O(000-1)
a面（11-20)±0.25°
m面（1-100)±0.25°
高純度単結晶 ZnO 99.99%
ｃ面 O面 ： エピ研磨、Zn面： 鏡面研磨
a面 両面鏡面研磨
m面 両面鏡面研磨
TTV: ≦1nm
10x10x0.5t mm
15x15x0.5t mm
φ50.8 x0.5t mm ← 新規取扱！！
単結晶ZnO分析値（ICP-OES）
| ZnO | 不純物含有量（ppm） | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Ca | Mg | Fe | Ni | Cu | Mn | Cr | Co | |
| 99.99% | 1.83 | 4.69 | 0.61 | 0.92 | 0.007 | 0.15 | <0.01 | <0.02 |
| Ag | Ti | Al | Li | Mo | V | Na | K | |
| <0.02 | 0.049 | 0.67 | 1.1 | <0.02 | <0.01 | 6.53 | 6.19 | |
GaNとの格子ミスマッチ：1.9％
a ZnO=3.295A c ZnO=5.2059A
a GaN=3.1888A c GaN=5.186A
単結晶ZnO物性表
|
物質名 |
酸化亜鉛 |
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化学組成 |
ZnO |
|
純度 |
99.99％ |
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結晶構造 |
六方晶系ウルツ構造 |
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育成方法 |
水熱合成法 |
|
結晶成長方向 |
0001 |
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融点 |
1975℃ |
|
密度 |
5.66 g/cm3 |
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モース硬度 |
４ |
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バンドキャップエネルギー |
3.3７eV |
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抵抗率 |
1,000～10,000Ωcm |
|
圧電定数（x1012q/N） |
d=-13.9k33=0.408 d=-5.2k31=0.189 d= 10.6k15=0.282 |
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比誘電率 |
8.5 |
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熱膨張係数 |
2.9 x 10-6 K－ |
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熱伝導率、 |
2.5W/m/K |
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透過率 |
400nm～600nmで>50% |
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屈折率 |
no=2.0681 ne=2.0510 |