サファイア製品 チューブ・ルツボ・ロッド
Tube, Pipe, Crucible サファイアチューブ、パイプ、ルツボ
最近、オゾン発生防止及び紫外線による損傷を防ぐため、石英ガラスのパイプにくらべサファイアガラス管がより最適であることがわかり、これを用いる方向が優勢になって来ています。
UV殺菌、プラズマエッチング、高圧用などの用途に適しています。
弊社では、吟味した純度の高い原材料（ベルヌーイ法で製作した材料）を使用することにより、研磨しなくともほぼ透明なチューブ、ルツボを生産することが可能になりました。
サファイアガラスは1850℃でも常用が可能です。弗化水素を始め、硫酸、硝酸、塩酸等に対して300℃の温度でも殆ど侵されません。金属の融液Mg, Al, Cr, Co, Ni, Na, K, Bi, Zn, Cs等に対しては800～1000℃の温度でも使用可能です。また、半導体製造に必要な特殊ガス、三弗化窒素（NF3）、六弗化タングステン（WF6）等にも使用でき、さらに放射線に対しても安定しております。
弊社ではチューブ、ルツボの段付キャップや穴付キャップも製作可能。
また、外径φ200mm長さ50mmまでの、C-軸が長手方向のブッシュ製作も可能です。
成長方法：EFG法
サファイアチューブ
鏡面研磨品標準仕様
| D | 肉厚 | L | |
|---|---|---|---|
| AS GROWN | 2～60 | 0.5～4.0 | 20～950 |
| 研削面 | 10～30 | 0.5～4.0 | 20～300 |
| 研磨面 | 10～30 | 0.5～4.0 | 20～200 |
| くり抜き品 | 140 | 2～5 | 150～ |
単位：mm
可能な生産能力
- チューブ
-
- 外径10mm、長さ70mm
- 400本／月
- 外径60mm、長さ70mm
- 20本／月
サファイアルツボ
（片側封止チューブ）
(引き上げ片側封止チューブ)
標準サイズ
| 外径 | 肉厚 | 高さ |
|---|---|---|
| 10～152 | 1～5 | 20～50 |
単位：mm
高圧用サファイア管
| D | d | L | t | |
|---|---|---|---|---|
| 研削面 | 7～15 | 1～10 | 50～200 | 50～190 |
単位：mm
片側ツバ付（研削、研磨）（一体型片側封止）
標準サイズ：外径12ｘ内径8xL200mm
プラズマエッチング
用サファイア管
内面AS GROWN／外面研削加工
サファイアキャピラリー
チューブ（毛細官）
| 内径 | L | |
|---|---|---|
| AS GROWN | 0.6～2.0 | 5～900 |
単位：mm
サファイア
保護管（片側封止）
標準サイズ
| 外径 | 内径 | 長さ |
|---|---|---|
| 8 | 5 | MAX800 |
| 8 | 5 | 500 |
| 8 | 5 | 400 |
| 8 | 5 | 300 |
| 8 | 5 | 200 |
単位：mm
底面厚みｔ＝2mm
Rod サファイアロッド
| 直径 | 1～30mm | |
|---|---|---|
| 長さ | 成長面(両端面研磨） | 最大900mm |
| 全面研磨 | 最大350mm | |
| C-軸 | 長手方向 | |
製品例：耐熱、放熱ロッド（標準サイズ φ10xL820mm）