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在庫表

酸化亜鉛単結晶(ZnO)製品 ブロック・基盤

両面研磨品在庫あり!〔10x10x0.5t mm(C-面、A-面、M-面), 15x15x0.5t mm(C-面)〕

材質および成長法

材質および成長法

材質 : 高純度単結晶 ZnO

成長法 : 水熱合成法(ZnO)

酸化亜鉛単結晶基板の寸法とオリフラ精度

①角型基板
酸化亜鉛単結晶(ZnO)製品 ブロック・基盤
10x10mmの場合、次表の通り。

単位:mm

A B T Cx45° Px45°
10 10 0.5 2.8-0.8 1.5-0.8


②2インチ基板


面方位

c面(0001)±0.25°: Zn(0001), O(000-1)

a面(11-20)±0.25°

m面(1-100)±0.25°

結晶品質

高純度単結晶 ZnO 99.99%

面加工精度

c面 O面 : エピ研磨、Zn面: 鏡面研磨

a面 両面鏡面研磨
m面 両面鏡面研磨
TTV: ≦1nm

酸化亜鉛単結晶基板標準サイズ

10x10x0.5t mm

15x15x0.5t mm

φ50.8 x0.5t mm ← 新規取扱!!

単結晶ZnO99.99%分析結果(参考)

単結晶ZnO分析値(ICP-OES)

ZnO 不純物含有量(ppm)
Ca Mg Fe Ni Cu Mn Cr Co
99.99% 1.83 4.69 0.61 0.92 0.007 0.15 <0.01 <0.02
  Ag Ti Al LiMoVNa K
  <0.02 0.049 0.67 1.1 <0.02 <0.01 6.53 6.19

GaNとの格子ミスマッチ:1.9%

a ZnO=3.295A c ZnO=5.2059A

a GaN=3.1888A c GaN=5.186A



単結晶ZnO物性表

物質名

酸化亜鉛

化学組成

ZnO

純度

99.99

結晶構造

六方晶系ウルツ構造

育成方法

水熱合成法

結晶成長方向

0001

融点

1975

密度

5.66 g/cm3

モース硬度

バンドキャップエネルギー

3.3eV

抵抗率

1,00010,000Ωcm

圧電定数(x1012q/N

d=-13.9k33=0.408

d=-5.2k31=0.189

d= 10.6k15=0.282

比誘電率

8.5

熱膨張係数

2.9 x 10-6 K

熱伝導率、

2.5W/m/K

透過率

400nm600nm>50%

屈折率

no=2.0681  ne=2.0510