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最近、オゾン発生防止及び紫外線による損傷を防ぐため、石英ガラスのパイプにくらべサファイアガラス管がより最適であることがわかり、これを用いる方向が優勢になって来ています。 UV殺菌、プラズマエッチング、高圧用などの用途に適しています。 弊社では、吟味した純度の高い原材料(ベルヌーイ法で製作した材料)を使用することにより、研磨しなくともほぼ透明なチューブ、ルツボを生産することが可能になりました。 |
サファイアガラスは1850℃でも常用が可能です。弗化水素を始め、硫酸、硝酸、塩酸等に対して300℃の温度でも殆ど侵されません。金属の融液Mg, Al, Cr, Co, Ni, Na, K, Bi, Zn, Cs等に対しては800〜1000℃の温度でも使用可能です。
また、半導体製造に必要な特殊ガス、三弗化窒素(NF3)、六弗化タングステン(WF6)等にも使用でき、さらに放射線に対しても安定しております。
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内径段付きチューブ |
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![]() サファイアルツボ(引き上げ片側封止チューブ)
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| 片側ツバ付(研削、研磨)(一体型片側封止) 標準サイズ:外径12x内径8xL200mm ![]() 単位:mm
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![]() サファイアツバ付チューブとルツボ
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| 内径 | L | |
|---|---|---|
| AS GROWN | 0.6〜2.0 | 5〜900 |
| 標準サイズ | 単位:mm |
| 外径 | 内径 | 長さ |
|---|---|---|
| 8 | 5 | MAX800 |
| 8 | 5 | 500 |
| 8 | 5 | 400 |
| 8 | 5 | 300 |
| 8 | 5 | 200 |
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2穴付ロッド 4穴付きロッド
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サファイア拡散接合